硅片邊緣曝光設(shè)備氣動(dòng)隔振器的日常維護(hù)

硅片邊緣曝光設(shè)備氣動(dòng)隔振器空氣濾清是用以除掉甲醛的，空氣濾清務(wù)必準(zhǔn)時(shí)除掉。下面給朋友們解讀幾類(lèi)過(guò)濾裝置的除掉方法，維持過(guò)濾裝置的除掉。

一：氣動(dòng)隔振器加溫過(guò)濾裝置的除掉方法

加溫過(guò)濾裝置一般每個(gè)月務(wù)必除掉1~2次。清理時(shí)，目前的濾網(wǎng)務(wù)必拆下來(lái)，用吸塵器或純棉毛巾將灰塵清理干凈整潔；倘若表明濾網(wǎng)能夠水清理，能夠用冷水除掉，接著脫干或用吹風(fēng)機(jī)烘干處理后再倒入空氣凈化機(jī)等，就能正常的運(yùn)用。

二：HEPA濾網(wǎng)的除掉方法

硅片邊緣曝光設(shè)備氣動(dòng)隔振器濾網(wǎng)不能用水除掉，除非是有特別要求。因?yàn)橹袊?guó)空氣污染較為嚴(yán)重，空氣質(zhì)量指數(shù)較差，HEPA過(guò)濾裝置的很長(zhǎng)應(yīng)用時(shí)限一般僅有3個(gè)月甚至更短，因此務(wù)必更經(jīng)常地拆卸HEPA過(guò)濾裝置。但是用除塵設(shè)備除掉還可以在一定程度上提升其運(yùn)用時(shí)限，但倘若一般白的HEPA濾網(wǎng)表層趨于變黑，就意味著務(wù)必拆卸。為了方便確?？諝鉃V清的性能和你的身心健康，請(qǐng)立刻拆卸。

三：石英砂過(guò)濾裝置的除掉方法

石英砂過(guò)濾設(shè)備也需要經(jīng)常拆卸，防止吸附飽和，每六個(gè)月更換一次；還可以按時(shí)拆下來(lái)，放入太陽(yáng)底下，維持凈化處理處理預(yù)期效果，提高運(yùn)用時(shí)限。

硅片邊緣曝光設(shè)備氣動(dòng)隔振器過(guò)濾裝置不適合運(yùn)用好長(zhǎng)時(shí)間，一段時(shí)間后應(yīng)拆卸。周期一般為三個(gè)月。

空氣濾清是用以除掉甲醛的，空氣濾清務(wù)必準(zhǔn)時(shí)除掉。下面給朋友們解讀幾類(lèi)過(guò)濾裝置的除掉方法，維持過(guò)濾裝置的除掉。