美光(MicronTechnology)半導(dǎo)體設(shè)備空氣隔振器調(diào)壓閥的工作原理及基本性能

美光半導(dǎo)體設(shè)備空氣隔振器調(diào)壓閥有多種多樣結(jié)構(gòu)類型。過去常見的有膈膜式、內(nèi)彈簧活塞機(jī)等。調(diào)壓閥的基礎(chǔ)原理是根據(jù)閥內(nèi)過流道對(duì)流水的部分摩擦阻力來減少壓力。

一、空氣隔振器調(diào)壓閥的原理：

當(dāng)調(diào)壓閥導(dǎo)出工作壓力高或規(guī)格大，選用變壓彈簧立即調(diào)整工作壓力時(shí)，彈簧彎曲剛度務(wù)必太大。當(dāng)流量轉(zhuǎn)變時(shí)，導(dǎo)出工作壓力起伏特別大，閘閥的結(jié)構(gòu)規(guī)格也會(huì)提高。為了方便處理，能夠應(yīng)用先導(dǎo)式減壓閥。先導(dǎo)式減壓閥的基本原理與直移動(dòng)式基本一致。先導(dǎo)式減壓閥運(yùn)用的變壓氣體由中小型直移動(dòng)式調(diào)壓閥供貨。假如將中小型直移動(dòng)式調(diào)壓閥安裝于閥身體中，則稱作內(nèi)部構(gòu)造調(diào)壓閥；假如中小型直移動(dòng)式調(diào)壓閥安裝在主閥體外界，則稱作外調(diào)壓閥。

設(shè)定器是一種空氣隔振器調(diào)壓閥，適用于工作壓力設(shè)定。現(xiàn)階段壓力表有二種：空氣隔振器氣動(dòng)閥門工作壓力分別是0.14MPa和0.35MPa，導(dǎo)出工作壓力范圍各自為0-0.1MPa和0-0.25MPa。

它由三部份組成：1是直移動(dòng)式調(diào)壓閥的關(guān)鍵關(guān)閉一部分；2是恒壓降設(shè)備，相當(dāng)于一定的空氣壓力調(diào)壓閥。關(guān)鍵功能是使噴嘴獲得穩(wěn)定的氣流；3為噴嘴擋板設(shè)備及變壓一部分，起變壓和工作壓力增大作用，運(yùn)用其變大的標(biāo)準(zhǔn)氣壓操縱主閥一部分。

由于穩(wěn)壓電源具有設(shè)定、比較、放大功能，穩(wěn)壓管高精度。